Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B: Nanotechnology and Microelectronics

Allgemeine Angaben zur Online-Ausgabe der Zeitschrift:

Titel:

Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B: Nanotechnology and Microelectronics

Verlag / Anbieter:

American Vacuum Society (AVS)
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Fachgebiet(e):

Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik | Physik

Schlagwörter:

Vakuumtechnik | Halbleitertechnologie

Sprache(n):

Englisch

E-ISSN(s):

2166-2754

P-ISSN(s):

0734-211X | 1071-1023 | 2166-2746

ZDB-Nummer:

3117331-7

Titelhistorie:

1475429-0 im Zeitraum: 2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Journal of vacuum science & technology B. Microelectronics processing and phenomena

3117333-0 im Zeitraum: 2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures

3117331-7 im Zeitraum: 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-

Journal of vacuum science and technology B. Nanotechnology & microelectronics

erste Volltextausgabe:

Jg. 1, H. 1 (1983)

Homepage(s):

https://pubs.aip.org/avs/jvb

Erscheinungsweise:

Volltext, Online und Druckausgabe

Kosten für Lesezugang:

kostenpflichtig

Zugangsbedingungen:

Subskription mit Authentifizierungsmechanismen

Preistyp Anmerkung:

kostenlos mit Druckausgabe (Campuslizenz)

Bemerkung:

Hervorgegangen aus: Journal of Vacuum Science and Technology (0022-5355)