Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)

Allgemeine Angaben zur Online-Ausgabe der Zeitschrift:

Titel:

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)

Verlag / Anbieter:

SPIE
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Fachgebiet(e):

Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik

Schlagwörter:

Mikroelektronik

Sprache(n):

Englisch

E-ISSN(s):

1932-5134 | 2708-8340

P-ISSN(s):

1932-5150

ZDB-Nummer:

3056313-6

Titelhistorie:

2088795-4 im Zeitraum: 1.2002 -vol. 19, no. 4 (October 2020)

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS

3056313-6 im Zeitraum: Vol. 20, no. 1 (January 2021)-

Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology: JM3

erste Volltextausgabe:

Jg. 1 (2002)

Homepage(s):

https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanopattern...

Erscheinungsweise:

Volltext, Online und Druckausgabe

Kosten für Lesezugang:

kostenpflichtig

Zugangsbedingungen:

Subskription mit Authentifizierungsmechanismen

Preistyp Anmerkung:

kostenlos mit Druckausgabe (Campuslizenz)

Bemerkung:

1.2002 - 5.2006 u.d.T.: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems.