Materials Science in Semiconductor Processing

Allgemeine Angaben zur Online-Ausgabe der Zeitschrift:

Titel:

Materials Science in Semiconductor Processing

Verlag / Anbieter:

Elsevier
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Fachgebiet(e):

Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik | Maschinenbau

Schlagwörter:

Halbleitertechnologie | Werkstoffkunde

Sprache(n):

Englisch

E-ISSN(s):

1873-4081

P-ISSN(s):

1369-8001

ZDB-Nummer:

2029689-7

erste Volltextausgabe:

Jg. 1, H. 1 (1998)

Homepage(s):

https://www.sciencedirect.com/journal/materials-science-in-semiconductor...
https://www.elsevier.com/locate/issn/13698001

Erscheinungsweise:

Volltext, Online und Druckausgabe

Kosten für Lesezugang:

kostenpflichtig

Zugangsbedingungen:

Subskription mit Authentifizierungsmechanismen

Bemerkung:

Volltextzugang über die Datenbank ScienceDirect (kostenpflichtig)